等離子清洗機如何保养?

俗話說,工欲善其事,必先利其器,一個好的工具往往能讓工作事半功倍。又說:功夫再高也怕菜刀,機器再好也要保養。所以下面就爲大家分享一些常見的等離子清洗機保養事宜:

等離子清洗機保養事項:

1、定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度,觀察油位視窗,油位接近最低紅線刻度時,則添加到油紅標線上下之間位置;觀察油的顔色,正常的油爲清潔透明,當油出現渾濁(油顔色變灰褐色或者油位視窗模糊不清)、真空泵噪音異常,則及時更換真空油。

2、清洗反應腔室

首先脫脂棉布沾無水乙醇(俗稱酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反應腔體觀察玻璃)真空腔體。

其次腔體導入(氩氣+氧氣)或(氮氣+氧氣),用等離子體清除腔體內殘余物。工作10分鍾,每月至少一次。

3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性

定期檢查真空系統的完整性,這種檢查應該在徹底的清洗反應室之後,以避免汙染物遺漏在腔體中。

定期檢查反應腔體門密封條是不是松動。

檢查各管路是否連接緊固,老化等問題。

4、檢查電源連接

電壓是否與設備匹配(設備的電壓爲220V)。

等離子清洗機

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