等離子清洗多層陶瓷外殼

多层陶瓷外壳是由多层金属化陶瓷、底座和金属 零件采用 Ag72Cu28焊料钎焊而成,进入电镀环节前, 外壳表面不可避免地会形成各种沾污,包括微尘、固体 颗粒、有机物等,同时由于自然氧化,还会有一层氧化层。电镀前必须清洁镀件表面,否则将影响镀层与基体的结合力,造成镀层起皮、起泡。为了去除这类污染物,常采用甲苯、丙酮、酒精等有机溶剂进行超声清 洗,但这种方法一方面清洗不彻底,易造成镀层缺陷, 另一方面会使制造成本增加,并引发环境问题。等离 子体清洗因具有良好的均匀性、重复性、可控性及节能 环保性,在封装领域获得了推广应用。

等離子清洗过程中,氧气变成含有氧原子自由基、激发态的氧气分 子、电子等微粒的等離子体,这类等離子体与固体表面 发生的反应可以分为物理反应(离子轰击)和化学反 应,物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染 物脱离表面最终被真空泵吸走,化学反应机制是 O活 性粒子将有机物氧化成水和二氧化碳分子,并从表面清除,由真空泵吸走。

采用 O2 作为清洗气体对 Ag72Cu28焊料进行 等离 子 清 洗,具 有 显 著 的 可 操 作 性。 在 采 用 Ag72Cu28焊料钎焊外壳的表面电镀 Ni,Au前,用 O2 作为清洗气体进行等離子清洗,能去掉有机物沾污,提高镀层质量,这对提高封装质量和器件可靠性极为重 要,同时对节能减排也起到了很好的示范效用。

等離子清洗機

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